快科技6月8日音信，针对外界称台积电因保守不肯投资下一代光刻建立的传言，台积电董事长魏哲家近日在推进大会上亲身辟谣，暗意有买High-NAEUV光刻机，且正接力研发，但基于本钱考量，现阶段暂不进入量产。
AG中国手机官方网页版这台ASML研发的最新High-NAEUV光刻机，每台单价高达3.8亿至4亿好意思元，是面前主流EUV建立的两倍多。魏哲家坦言，建立太贵是暂不量产的主因。
台积电的计谋是先用好手里现存的EUV建立。魏哲家强调，现存光刻机搭配多重图案化时刻，新京澳门葡萄城(股份)有限公司仍足以相沿先进制程的微缩需求，台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得更合算时再首先。
台积电早在2024年9月就采纳了首台High-NAEUV光刻机，并安置在研发中心用于迷惑下一代工艺的基础光刻时刻。魏哲家以为，提前启动研发准备，才能确保将来投产时达到可靠良率与产出效果。
不外他坦言，要把这台4亿好意思元的建立信得过用起来，还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程，而台积电聘任先研发、后投产更恰当的门路，合乎其一贯的本钱次序。
魏哲家瞻望，High-NAEUV将在信得过需要单次曝光达成更轻捷线宽且晶圆本钱启动具备竞争力的期间点，当然进入分娩体系。
新京澳门葡萄城(股份)有限公司